净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

活动缝隙（二类）的处理：

　　净化车间门宙的开启扇与框料如何搭接是净化车间门宙密封设计中的关键。搭接处的缝隙有别于固定缝隙，因活动扇需要开启而木能采取“一劳永逸”的封固措施。相对于宙而言，净化车间门的开启扇更大，活动缝隙在一捏净化车间门的总构造缝隙数量中占有更大的比例，净化车间门扇的开启次数远较宙为频繁，而净化车间门扇周边缝隙的工作条件也比较复杂，以单扇平开净化车间门为例，沿竖向的两侧边小，装执手的一边经常受到通行时各种摩擦或碰撞，装铰链的一边则因扇的旋转而对膛的施力方向与其他三边完全不同。把手放入消毒液中浸泡至少40秒钟（只要露出洁净服的手的部位均要浸到消毒液），再用清水冲洗干净后烘干。

洁净室内通常都布置有通风空调系统，其目的是为了保障洁净室内各洁净室的空气洁净度，但同时也带来了一潜在的火灾隐患，如果对通风空调系统防火处理不当，就会使烟火通过通风空调管网四处蔓延，造成火势扩大。因此，我们在设计时要按规范要求在通风空调管网的适当部位合理设置防火阀，并按要求选好管网材料，做好管网穿墙、穿楼板的防火封堵工作，防止火势随通风空调系统蔓延。减少系统送风量：洁净室内的送风量较之一般恒温恒湿空调房间内的送风量大很多，设法减少系统的送风速度，可有效地节省处理空气所耗用的能量，达到节能运行的目的。