1、简单、经济、可靠、外观精美。

2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。

3、SETPLASMA手动启动按钮可预先设置好压强和溅射电流避免对膜造成不必要的损伤。

4、真空保护可避免真空过低造成设备短路。

5、同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、铱、银、铜等），以达到更细颗粒的涂层。

6、通过通入不同的惰性气体以达到更纯净的涂层。

7、独立的溅射、蒸发上盖和玻璃腔体防止交叉污染。

8、一体机更加经济实惠。

9、碳纤维绳更加细腻均匀、快速，更有利于分析材料结构。

10、溅射蒸发功能转换方便快捷。

参数：

² 仪器尺寸 ：主机  300mm×360mm×380mm（W×D×H）

               蒸镀  300mm×360mm×160mm（W×D×H）

² 真空样品室： 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm（D×H）

² 靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）

² 溅射靶材：Au

² 溅射靶材大小：φ50mm

² 样品台：50mm (D)

² 溅射工作电压：0-1600V (DC)可调

² 溅射电流：0-50mA

² 溅射定时：0-360S

² 蒸碳电流  0-100A(AC)

² 蒸发材料：碳纤维

² 蒸发工作电压：0-30V

² 蒸发时间：0-1S

² 微型真空气阀：可连接φ3mm软管

² 可通入气体： 多种

² 真空泵：  2升机械旋转泵（国产VRD-8）