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米
单位
锌铝氧化物
成分
3N5
纯度
旋转靶/平面靶
规格
吴经理
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主营： 热敏电阻/NTC | 光学镀膜材料 | 陶瓷滤波器
安徽省合肥市
AZO靶材 AZO Target
产品说明Product description
AZO靶材是锌铝氧化物功能陶瓷材料，主要应用于磁控溅射制备AZO透明导电薄膜。采用粉末冶金，烧结工艺，多个靶管拼接贴合为AZO靶材成品。
AZO target is a functional zinc aluminum oxide ceramic material, which is used for deposition of AZO transparent conductive thin films with magnetron sputtering. It is produced by suing power metallurgy and sintering process, in the form of tube/planar segments that are bonded into AZO target.
AZO旋转靶/平面靶 Rotary/ Planar AZO target
组分Chemical composition (wt%) | Al2O3:ZnO = 2:98 |
纯度 Purity (%) | ≥99.95 |
密度 Density (g/cm3) | ≥5.56 |
相对密度 Relative density (%) | ≥99.3 |
绑定贴合率 Adhering ratio (%) | ≥98 % |
靶材尺寸 Dimension
-靶材外径(Target outer diameter）∅151-160 mm
-钢管直径(Stainless steel tube diameters) OD 133 mm/ID 125 mm
-长度（Length）≤4 m
-按图纸要求加工(According to customized drawings)
应用领域Applications
-薄膜太阳能电池Thin film solar cells
-Low-E镀膜玻璃Low-E glasses
-汽车镀膜玻璃Automotive glasses
产品特点Product features
-密度高，成膜质量好。
High-density target leading to high quality films
-使用功率高，为13 kM/m。
Sputtering power of as high as 13 kW/m.
-溅射速率、使用效率比同类产品高。
Sputtering rate and utilization efficiency that are high than the products of competito rs
纳米级 高纯4~6N 3C陶瓷粉体 氧化镓/氧化钇粉体
高纯氧化铌靶材/粉体 太阳能电池镀膜材料 可按图纸定制
氧化钛/氧化锆靶材 高纯4~6N low-E玻璃镀膜 可定制
高纯硅靶材/粉体 3~6N LOW-E玻璃喷涂靶材 可定制
AR膜系 硅铝靶材 高纯3~6NSiAI low-E镀膜玻璃材料 可定制
浇铸靶材 锌铝/锌锡合金靶材 真空溅射镀膜材料 高纯可定制
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高纯硅靶材/粉体 3~6N LOW-E玻璃喷涂靶材 可定制
浇铸靶材 锌铝/锌锡合金靶材 真空溅射镀膜材料 高纯可定制
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