磁控溅射镀膜机6寸永磁共焦靶枪高性能兼容RF/DC/MF磁性材料配脉冲直流和全自动射频电源-找商网

磁控溅射镀膜机6寸永磁共焦靶枪高性能兼容RF/DC/MF磁性材料配脉冲直流和全自动射频电源

发货浙江省杭州市

参数

304不锈钢

腔体材质

W500×L500×H500

腔体尺寸

前后开门带2个观察窗

结构

连续旋转

旋转基片台功能

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帕菲克特装备科技（杭州）有限公司

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主营：其他光伏生产设备

浙江省杭州市

磁控溅射镀膜机

功能卓越

质量可靠

专业团队

交货准时

商品参数

尺寸

宽500×长500×高500

材质

优质304不锈钢

用途

涂覆薄膜（镀膜）

靶枪

六寸，自研

兼容

磁控靶RF、DC、MF

系统

PLC+工控机+触摸屏全自动控制方式

产品特点

NO.1

旋转基片台

样品台可放置不小于100mm样品1片，具有连续旋转功能，旋转0—30转/分连续可调。基片加热温度：室温—300°C连续可调，由热电偶闭环反馈控制，加热电源配备控温表，控温方式为PID自动控温及数字显示

NO.2

6寸永磁靶枪

自研靶枪，磁控溅射系统3套，溅射室中配安定制尺寸若干套高性能永磁共焦磁控溅射靶（溅射靶角度可调），各靶可独立/顺次/共同工作，磁控靶RF、DC、MF兼容，可以溅射磁性材料，磁控靶与基片距离可调，配备进口SMC旋转气动控制挡板组件；配脉冲直流电源（不小于500W）和全自动匹配射频电源（不小于500W）；提供3块测试靶材。镀膜不均匀度≤±5%。

NO.3

系统全自动

系统采用PLC+工控机+触摸屏全自动控制方式，可进行自动抽气及程序设定、计算机实时显示记录真空度及加热温度、计算机设定显示直流电源、射频电源功率参数、计算机设定显示MFC的设定控制等、计算机设定显示当班状态、样品转速等。

公司介绍

帕菲克特装备科技（杭州）有限公司

帕菲克特装备科技（杭州）有限公司主要经营技术开发、技术咨询、技术服务、成果转让；人工智能设备、机械设备、计算机系统集成、计算机软硬件、照明技术、网络信息技术、仪器仪表、通信技术（除国家专控）、电子产品、电子元器件；服务：承接网络工程、建筑智能化工程、会议会展服务；批发、零售：仪器仪表、机械设备及其配件、电子产品；货物合计数进出口（法律、行政法规禁止经营的项目除外，法律、行政法规限制经营的项目取得许可后方可经营）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动），注册资本500万元，公司坚持诚信、互利，为客户提供良好的服务和实惠的价格，我公司的办公地址在浙江省杭州市钱塘新区白杨街道22号大街22号2幢1203室，如果您对我们的产品服务有兴趣，请在线或者拨打我们的电话咨询，热诚欢迎各界朋友前来参观、洽谈业务。