小型分析探针台

型号

SM-4

SM-6 mini

SM-6

外形

400mm长*400mm宽*550mm高

400mm长*400mm宽*550mm高

680mm长*530mm宽*550mm高

重量

约30KG

约35KG

约45KG

电力需求

220VC,50~60Hz

样品台

尺寸

4英寸，可360度旋转

6英寸，可360度旋转

6英寸，可360度旋转

X-Y行程

4*4英寸

4*4英寸

6*6英寸

移动精度

10um

样品固定方式

真空吸附

背电极测试功能

有，样品台电学独立悬空

针座平台

U型平台，多可放置6个针座

U型平台，多可放置8个针座

光学特性

显微镜行程

可360度旋转，Z轴：50.8mm

放大倍数

16~100X  （200X可选）

CCD像素

50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）

点针规格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

机械精度

10微米/2微米/0.7微米

漏电精度

10pA/100fA     （配置屏蔽箱时）

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口

可选附件

加热台

光强/波长测试选件

屏蔽箱

射频测试附件

转接头

有源探头

防震台

低电流/电容测试选件

镀金卡盘

兼容积分球测试选件

同轴/三轴卡盘

光纤夹具耦合测试选件

样品台快速升降，微调升降装置选件

PCB/封装夹具测试选件

样品台旋转微调选件

特殊定制

应用方向

芯片及LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，射频测试等。

特点

紧凑的结构

同轴丝杠传动结构，线性移动

轻巧的质量

无回程差设计

实惠的价格

10微米以上电极/PAD测试

高等院校/研究所实验室使用

LD/LED/PD的光强/波长测试

可用于6英寸以内样品测试

材料/器件的IV/CV特性测试