实验涂膜设备 GSL-1800X-ZF2型 蒸发镀膜仪 

     GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及进行微小产品真空镀膜工艺研究、样板试制、操作培训和生产的单位。GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪在蒸发镀膜过程中样品台可以进行旋转，使蒸发的薄膜材料在样品表面均匀分布。配有两组蒸发单元，一个钨舟，一个钨丝篮；钨舟中可以放粉末状的薄膜材料，钨丝篮中可以放条状或块状薄膜材料。控制屏采用7英寸TFT显示屏显示操作界面，TFT式显示器具有高响应度、高亮度、高对比度等优点，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪使高真空的蒸发镀膜设备，真空度可达3.0×10^-4torr。

技术参数：

1、电源：AC220V  1500W

2、蒸发电源功率：1000W  5V   200A

3、蒸发电极有效距离：44mm

4、样品台：Ø120mm（可旋转）

5、膜厚测量精度：0.1Å或0.01Å（可选配高精度型）

6、外接真空机组：扩散泵机组（可选配国产110机组或进口机组）（不建议使用扩散泵）

7、极限真空度：>3.0×10-3torr（扩散泵）、3.0×10-4torr（分子泵）（不建议使用扩散泵）

8、工作真空度：5.0×10-3torr

9、真空接口：KF40

10、使用环境：温度35℃，湿度<75%（相对湿度）不结露，海拔<1500m

11、产品规格：440mm×240mm×260mm（不包括真空机组）；

12、重量：约47kg（不包括真空泵）

主要技术特点：

  1、采用桌面小型一体化结构，将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，体积与一台A3打印机相仿。

  2、采用电阻式双蒸发源结构，可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源，适应相应的镀膜材料。

  3、配有0.1%精度蒸发电源，并具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用。

  4、可选配石英晶体膜厚控制仪，在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制。

  5、可将采集到的镀膜数据保存到U盘，便于用户分析控制（选配）。

  6、本机将所有功能设计成标准化模块，根据用户不同的需求对相应模块进行组合，以达到化的镀膜环境，并便于用户维修与维护。

  7、操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。

安转条件：

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

2、工作台：落地式，占地面积2m2以上

3、通风装置：需要