XN2013-EQTM106
货号
EQ-TM106
型号
90mm×50mm×18mm
规格
否
是否跨境货源
逯娜
主营: 研究和试验发展 | 专业技术服务业 | 科技推广和应用服务业
上海市奉贤区
仪器概述:
EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。
主要技术特点:
1、本机可与计算机连接。
2、显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM控制输出的百分比等工作状态。
3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置,并可将所测相关数据写入Excel文件。
4、具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。
主要技术参数:
产品型号 | EQ-TM106 膜厚监测仪 | ||
技术参数 | EQ-TM106-1监测组件 1、电源:DC 5V(±10%),电流400mA 2、频率分辨率:±0.03Hz 3、膜厚分辨率:0.0136Å(铝) 4、膜厚准确度:±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置,材料应力,温度和密度 5、测量速度:100ms-1s/次,可设置 6、测量范围:500000Å(铝) 7、标准传感器晶体:6MHz 8、计算机接口:RS-232/485串行接口 (波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8,停止位:1,校验:无) 9、模拟输出:8比特分辨率,PWM脉宽调制输出(集电极开路或内部5V输出) 10、工作环境:温度0-50℃,湿度5%-85%RH,不得有冷凝水珠 11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm | ||
EQ-TM106-2显示仪 1、输入电源:AC 220V±10% 2、输出电源:DC 5V 3A 3、显示器:12×2数码管与LED 4、通讯端口:RS-485 (波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8位,停止位:1位,奇偶校验:无) 5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm | |||
EQ-TM106-3探头 1、适用晶片频率:6MHz 2、适用晶片尺寸:Ø14mm 3、安装法兰:CF35 4、冷却水管:Ø3mm,长度300mm、500mm、1000mm 5、冷却水压:<0.3MPa 6、气动挡板路管:Ø3mm 7、压缩空气压力:<0.8MPa,>0.5MPa 8、烘烤温度:通水状态<200℃,不通水状态法兰<100℃ 9、电气接口:BCN插座 | |||
标准配件 | 1 | EQ-TM106-1监测组件 | 1个 |
2 | EQ-TM106-2显示仪 | 1台 | |
3 | EQ-TM106-3探头 | 1个 |
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