溅射仪 GSL-1100X-SPC-16-3型 等离子三靶溅射仪 溅射镀膜机

仪器概述：

    GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶，旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电极的制作。

主要技术特点：

  1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。

  2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得理想的镀膜效果。

  3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

  4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

  5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。

  6、已通过CE认证。

主要技术参数：