科晶
货号
VTC-200P
型号
350W
功率
Ø250mm×290mm
规格
逯娜
主营: 研究和试验发展 | 专业技术服务业 | 科技推广和应用服务业
上海市奉贤区
仪器概述:
VTC-200P型 真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
1、功率:350W
2、转速:500rpm-6000rpm
3、时间:1s-60s
4、产品规格:尺寸:Ø250mm×290mm;
5、重量:25kg
1、设有12组程序,每组包含6个运行阶段,每段增减速率设置范围:100—2000rpm/s,每段时间范围:0—60s。
2、真空吸附方式固定样件,操作简便。
3、吸盘真空度可以达到-0.08MPa。
4、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。
5、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。
6、电机采用24V直流无刷电机,无级调速,可靠性高,适应性强,维修与保养简单,噪音低,震动小,运转平稳,启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
7、本机可置于手套箱内使用,但控制部分与真空泵需置于箱外。
8、可在惰性气体气氛(如Ar、N2)下进行涂层。
9、采用无油双杠真空泵,体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。
10、腔体通体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能。
11、全英文操作系统。
12、具有开盖保护功能,当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止
13、控制器采用单控制箱,液晶显示数值,更直观可靠。
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