氦质谱检漏仪分流比说明及计算方法

1、分流比

分流比是由于检漏时抽空箱体的抽空泵组和检漏仪泵组同时参与了对箱体抽空。所以氦气一部分被抽空泵组抽走，只有一小部分氦气流往检漏仪，这两部分的气体的比例和泵组的抽速成比例，称为分流比。工件实际漏率=系统显示检测漏率*分流比。

2 、分流比计算

（1）将真空箱有关参数（如检漏时间、检漏压力等）设定好。一般由设备厂家技术人员现场调试时设定。

（2）对真空箱进行空箱检漏，记下结束时漏率值Q0此值即为真空箱的本底值。

（3）将标准漏孔调好，QC（标准压力0bar，漏率4.8×10-7Pa.m3/S）。

（4）将标准漏孔放到真空箱内并进行检漏操作，记下结束时漏率值QB

（5）分流比计算：分流比=QC/(QB-Q0)