系统利用柔性铰链机构作为位移放大机构,克服了压电陶瓷驱动器输出位移小的缺点,又保留了压电陶瓷驱动器控制容易,分辨率高等优点,因此系统具有了体积小,结构紧凑,精度高,可实现大行程,输出运动稳定等特点,能够满足纳米加工和纳米测量的实际需求这样就伴随着出现一些需要解决的新的技术问题,包括材料、结构、工艺、流体动力学等等方面,在这类机械的运行方式中动态过渡过程亦成为重要研究课题被提到日程上来
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