紧凑型过程监控器
产品名称
INFICON
品牌
美国
产地
Transpector CPM 3
型号
马经理
主营: 仪器仪表制造业
河北省保定市
产品名称:INFICON紧凑型过程监控器(Transpector CPM 3)
品牌:美国INFICON
产地:美国
型号:Transpector CPM 3
快速、现场就绪过程监测系统
性能、可靠性和通用性
十多年来,INFICON Transpector CPM 一直是半导体行业市场**的残余气体分析仪 (RGA) 过程监测系统。现在,Transpector CPM 3 通过集成经实践验证的泵送和进口系统与新型传感器和电子元件,达到业内**的测量速度和灵敏度。Transpector CPM 3 是新型和现有半导体过程(例如,ALD、CVD、PVD 和蚀刻)的理想 RGA 过程监控器。
诊断工具
紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备
Hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积,以**小化表面反应时间和响应时间
电容隔膜计 (CDG) — CDG 允许用户监测过程压力,并自动保护系统不出现压力偏移
自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度,以便进行各传感器和工具的腔室匹配
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UTI OTEX便携式三用量油尺电子液位计美国霍尼韦尔Honeywell
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