爱发科ULVAC真空泵

爱发科ULVAC集团，是面向各个行业广泛提供各种综合性真空设备、真空仪器、材料、分析设备，为解决客户难题，提升客户企业价值，提供多种多样的解决方案的企业集团。

在爱发科ULVAC集团中，Components Business Unit是负责开发、制造、销售构成综合性真空设备多种多样的真空配套产品的企业团体。真空设备的性能，是由追求最尖端的真空技术的各种真空配套机器来支撑的。

主要产品有：

真空泵(低・中真空)

真空泵(高真空)

真空计

气体分析仪（工艺气体监测仪

检漏仪

高速光谱椭偏仪

水晶振荡式成膜控制器

真空阀

DC电源

DC脉冲电源

MF电源

爱发科ULVAC真空泵干泵GR系列是以获得良好业绩和信赖的LR/HR系列为基础设计的，面向一般产业设计的简单结构的泵。

LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能，我们通过独创的螺杆形状和节电技术的融合，使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。

爱发科ULVAC真空泵HR/UR 系列

干泵HR/UR系列，根据独有的高温均热化技术，有效利用压缩热，实现了在CVD，蚀刻等硬工艺中的高耐久性。在轻工艺中，与ECO-SHOCK的组合最多可节省约88%的电力。 另外，提高了维护性和降低了噪音，全部型号CE对应可能（可选）。

EB枪・EB电源

真空搬送机器人

分子间相互作用定量QCM设备

微量精密搅拌器

小型蒸发设备

低温设备(CRYO)

热处理・热物性评估装置

爱发科ULVAC真空泵干泵CR系列VerB是获得国际标准（CE,cTUVus）的空冷式罗茨型干泵。排气室内不使用真空油，因转子和汽缸是不接触的，可长时间稳定运转。

DIS-501

ULVAC

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。

•可在大气压下实现操作运行。

•可实现高极限真空。

•低振动低噪音。

•维护周期可通过计时表控制。

上海煜柯销售爱发科ULVAC真空泵及真空配套产品，可以提供成套真空系统解决方案。