卷绕镀膜设备详情介绍

一、真空室

1、真空室体内径Φ1000，内高H800，主体材料为SUS304不锈钢焊接，顶底板

δ25mm，内围板δ10mm，水套板δ6mm，真空室采用水套冷却；

2、前开大切门，右手开门，前门置矩形观察窗170mm×82mm，带遮挡板；

3、内部转架两边安装加热器。安装于真空室内中间及四周；

4、真空室焊接水套冷却，底进顶出，真空室冷却采用直冷式水路循环；

5、采用下转架，底部引入传动机构与偏压输入端子；

7、于顶板后方置真空计预留口KF16×2个，用于安装真空规管；

8、于真空室顶板上安装热电偶，于高阀上方安装充气阀；。

二、抽气机组

1、粗抽泵 2X-70旋片泵，2台

2、助力泵 RTO.600s罗茨泵，1台

（罗茨泵出气口选用底部法兰口与粗抽泵连接）

3、分子泵 JTFB-3600，2台

4、维持泵 2X-70旋片泵，1台

5、粗抽管道与维持管道采用旁通阀连接

三、蒸发源配置

1、Φ100定向圆柱电弧靶二组（4套/组+4套/组，共8套）

2、气动引弧机构，辅助阳极自动补偿电压回路、自动保护过电流系统

3、电弧靶靶材面至工件面初始距离250mm，标配钛稳弧≤60A。

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