技术参数:
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。
控制量程:2% to 100%的全量程。
测量精度:全量程的1%
灵敏度:全量程的0.1%
热机时间:小于2Min.
响应速度:小于2Sec.
输入电压:±15VDC@100ma
输出电压:0-5VDC
连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
数字:RS485或Device net或Profibus
法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等
材质:316不锈钢。
质保期:有限保修自售出之日起12个月。
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