DVIA- MO系列高精密主动隔振光学平台为韩国DAEIL株式会社生产的主动隔振光学平台，由台面和主动隔振支撑两部分组成。

台面采用三层夹心式蜂窝结构，上台面材料采用SUS430高导磁不锈钢，内核为钢制 真蜂窝结构，将0.25mm厚度的钢板加工成蜂巢结构，采用先进的粘合工艺，底面为钢板， 保证了台面的高刚性和优良的隔振效果。台面均布25mm×25mm标准M6螺纹孔，方便安 装各种位移台和调整架，每个螺纹孔下方具有独立的隔离杯密封，方便清洁。 

主动隔振支撑部分主要包括被动隔振机构和主动隔振器DVIA- M，每个支撑里面一般 会有4个DVIA- M系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消 除振动的驱动器，主要消除0.5~10Hz的外部振动，被动隔振系统部分同时承担着支撑负载 和隔绝高频率振动的作用。 

该系列平台可以在低频范围（0.5~10Hz）提供非常卓越的隔振性能，它可以应用于很 多对隔振要求非常高，甚至具有挑战的领域，比如高分辨率的光谱仪，高分辨率的电子显微 镜和精密纳米科学研究等。 

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