泰思肯XEIA3-高分辨聚焦离子束扫描电镜-瑞腾仪器-找商网

泰思肯XEIA3-高分辨聚焦离子束扫描电镜-瑞腾仪器

发货广东省深圳市

参数

离子束扫描电镜

品牌

33*66*99mm

规格

XEIA3

型号

否

加工定制

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韦先生

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深圳市瑞腾仪器租赁有限公司

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主营：液相色谱 | 气相色谱仪 | 离子色谱仪

广东省深圳市

TESCAN XEIA3 FIB-SEM双束电镜集非凡的超高分辨成像能力和优异的微细加工于一体。强大且超快速的微/纳米 FIB 加工、低能电子束下的超高分辨率（UHR）、超快且可靠的微量分析和三维重构功能，使得 XEIA3 成为一款理想易用的 FIB-SEM 系统。

世界上第一个带有 SEM 的完全集成的 Xe 等离子体源 FIB 可实现高达 2.5 μA 的极高离子电流，因此与传统的 Ga 源 FIB 相比，溅射速率提高了 50 倍以上。这预先确定了 XEIA 用于铣削过去耗时或不可能的大量材料。

XEIA 是一款完全由 PC 控制的 SEM，具有肖特基场发射阴极与 Xe 等离子聚焦离子束 (SEM-FIB) 柱相结合，还完全配备了用于五种不同气体的气体注入系统 (GIS)。XEIA 在新设计的大型样品室中有 20 多个端口，还在一台仪器中集成了多种纳米分析功能。

TESCAN XEIA3 突出特点

Triglav™ -新型超高分辨率 ( UHR ) 电子光学镜筒

TriLens™物镜系统:独特的电子束无交叉模式与超高分辨率物镜相结合

具有多个 SE 及 BSE 探测器的先进探测系统

TriSE™+ TriBE™

Triglav™ - 低加速电压下的超高分辨率:1 nm (1 kV ), 0.7 nm (15 kV )

EquiPower™ 进一步提高电子束的稳定性

电子束流高达 400nA,并能实现电子束能量的快速改变

优化的镜筒几何设计最大可容纳 8” 晶圆

极其强大的 Xe 等离子源 FIB 镜筒

高电子回旋共振(High-ECR)产生的 Xe 等离子源 FIB 镜筒,可完成 Ga 离子源 FIB 在纳米工程领域不能完成的任务

溅射速率比 Ga 液态金属离子源快 50 倍

离子束流范围:1 pA ~ 2 μA;分辨率:<25 nm

新研发的高分辨率 Xe 等离子体 FIB 镜筒(选配),分辨率优于< 15 nm,进一步增强刻蚀能力

大重量的 Xe 等离子具备更大的 FIB 电流范围,在无气体辅助增强的条件下也可实现超快溅射

相较于 Ga 液态金属离子源,离子注入效应显著减少

Xe 惰性气体原子不会改变图样区域附近的电学性能

铣削过程中无金属间化合物形成

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