热分布式仪表使用口径和流量均较小，较多应用于半导工业外延扩散、石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、热处理淬火炉等各种场所的氢、氧、氨、燃气等气体流量控制，以及固体致冷中固体蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等。
热分布式 大部分热分布式TMF的流量传感器可任何姿势（水平、 垂直或倾斜）安装，有些仪表只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏感性，大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。
使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得准确测量



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流量测量是研究物质量变的科学，质量互变规律是事物联系发展的基本规律，因此其测量对象已不限于传统意义上的管道液体，凡需掌握量变的地方都有流量测量的问题。流量和压力、温度并列为三大检测参数。
流量仪表是过程自动化仪表与装置中的大类仪表之一，它被广泛适用于冶金、电力、煤炭、化工、石油、交通、建筑、轻纺、食品、医药、农业、环境保护及人民日常生活等国民经济各个领域，是发展工农业生产，节约能源，改进产品质量



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空气和水的污染要得到控制，必须加强管理，而管理的基础是污染量的定量控制。热式质量流量计在环境保护和工业中应用发展也比较多，高纯气体在各行各业和工业生产都有广泛的用途，它通常由空气分离工艺制取，气态高纯气体经管道或钢瓶集装格输送给用户，液态产品用槽车运输给用户。在用管道输送高纯气体的流程中，贸易交接计量通常为气体流量计，流量计的公称通径从50ｍｍ到几百毫米。多数交接量大、结算金额高的交接点，往往是供需双方各装１套流量计，从而做到公平计量，万无一失。

热式气体质量流量计恒温差测量中心点是保证两个探头之间的温度恒定，介质的携热(流速)与加热所需的供电电流成正比，因此介质温度与介质的比热是关键参数。流量计转换器中储存了60多种常规气体比热转换系数，设置为基体单一洁净气体。

是将标准孔板与多参数差压变送器（或差压变送器、温度变送器及压变送器）配套组成的高量程比差压流量装置，可测量气体、蒸汽、液体及的流量，广泛应用于石油、化工、冶金、电力、供热、供水等领域的过程控制和测量。

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具有度高、长期精度稳定、重复性好，受安装条件局限小、耐磨损、测量范围度宽、适合脏污介质、压力损失小、使用寿命长等特点。可以广泛应用于各种领域，因此可靠性高,维护量小。仪表参数能长期稳定。本仪表采用压电应力式传感器,可靠性高,可在-20℃～+250℃的工作温度范围内工作。有模拟标准信号,也有数字脉冲信号输出,容易与计算机等数字系统配套使用,是一种比较先进、理想的流量仪表。

热式气体质量流量计是利用传热原理检测流量的仪表，热式气体质量流量计有一体式和插入式两种规格。

热式质量流量计无活动部件，而且性能相对可靠，管道式流量计比插入式的精度要相对更高一些，目前大部分热式质量流量计都是用来测量气体，只有少量用于测量微小液体的流量。对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量。

对于热分布式TMF，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，必须定期清洗；对细管型仪表更有易堵塞的缺点，一般情况下不能使用。热气体质量流量计有很多优点。毕竟它们的体积比较小，装置也很方便，测量也很准确。

价格相较于科里奥利质量流量计便宜很多。量程比窄是孔板流量计的一大缺点，但是近年来蓬勃发展双量程孔板流量计，能将其量程比扩大到33倍，而且达到1.0％不确定度，从而弥补了该缺陷。高纯气体的纯度极高，组分的变化完全可以忽略不计，因此，气体的密度除了受温度、压力及压缩系数影响之外，无其他因素。即使质量流速低到0.1Nm/s都有很好的线性。此外还具有快速响应的能力。恒功率原理可以检测较高的流速变化，在大流速应用场合有非常好的表现力，但低流速特性不如恒温差，其次响应时间相对于恒温差较差。

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热式气体质量流量计大都采用开路的负压空气标定，然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。修正标定必然导致测量精度不能保证，恒温差原理具有非常好的的低流量特性，即使质量流速低到0.1Nm/s都有很好的线性。此低压标定后的表应用在高压工况，空气介质标定后的表应用在其他气体介质，测量精度无法保证。然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。

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浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安装姿势影响。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得测量,热气体质量流量计是一种用于测量各种气体流量的仪器，不仅具有测量精度高、稳定性好的优点，而且在长期使用中可以提高企业的使用成本。使用空气流量计时，通过过流式流量计推动涡轮叶片转动。叶片转速与流过空气流量计的气量成正比。流量计口安装有一特殊设计的导流架，随着流量的增大，对进入流量计的气流进行加速。采用导向架可以消除涡流、非对称流等潜在流体扰动。同时，推动涡轮叶片的动力增加。