人们早采用射频探针技术与今天的工具是很不相同的，早期探针使用了由一个很短的线极尖（wire TIp）而逐渐收敛的50-Ω微带线，通过探针基片上一个小孔而与被测器件（DUT）的压点（pad）相接触。此时，其技术难度在于如何突破4GHz时实现可重复测量。虽然有可能通过校准过程来剔除一个接触线极尖相对较大的串联电感的影响，但当圆晶片的夹具被移动时，线极尖的辐射阻抗会有较大的变化。高频测量使用的极尖设计与用于直流和低频测量的极尖不同，而且必须使50-Ω环境尽可能地接近于DUT压点。
村田探针主要与带开关的高频同轴连接器和高频同轴连接器相匹配来测试使用。不同型号的高频同轴连接器对应的村田探针型号也不相同，不同的排列方式也有不同体积的探针选择。

村田电缆探针主要用于实验室评估。就是把探针与SMA接口延长了，在中间加了一断细软射频线，长度通常为300mm，测量射频电缆装配探针。配合完成后，探针可凭借与连接器接触点上的夹爪自行站立，配合完成后对探针施加的任何压力都可能导致探针脱落，连接受损或电级剥离。需要细心使用测试。
常用型号有MXHS83QE3000,MXHQ87WJ3000,MXHQ87WA3000,MXHQ87PA3000,MXHQ87PK3000，
MXHQ87PP3000,MXHQ87PN3000等。

村田探针主要有这几种类型：村田无电缆探针，村田电缆探针，无浮动机构的自动探针，带浮动机构的自动探针，自动探针（无张力型），校准适配器。

村田校准适配器用于探针的校准。适配器一侧带有SMA接头，另一侧匹配村田连接器形状，可以连接网络分析仪和相应探针进行校准。常用型号有MM126312,MM126712等。
为了探测电路性能，我们需要把信号传导到某类传输线上， 这意味着我们需要至少两个导体，即“信号导体”和“地导体”。除了以上基本的GSG, GS, SG类型的探针，还有各种组合，如GSGSG，GSSG，SGS等等。探针本身需要很好的匹配内部不同传输媒介的特征阻抗，要求保证在不同传输模式下电磁能量的传输。