新科隆
品牌
10
加工周期
20
加工贸易形式
OTFC-1300
品名(样品)
鲁月
主营: 研发、生产、销售:光学制品、检测仪器及其软件、新能源材料及检测仪器、智能机械类、五金制品及其辅料耗材;机器及技术承接及转让;货物进出口、技术进出口。
广东省东莞市
工厂 二手日本光驰1300-OTFC镀膜机带射频源
工厂低价转让2台进口日本OTFC-1300CBI/DBI光学真空镀膜机
真空室 SUS304, φ1300mm×1920mm (H)
工件架 φ1600mm
工件架转速 10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚计 XTC/3+6点式石英晶体传感器
蒸发源 电子枪2套
离子源 23cmRF离子源
排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
达到压力 7.0×10-5 Pa 以下
排气时间 20分(大气压~1.3×10-3 Pa)
基板温度 :350℃
特点:
OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
真空室尺寸:Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
准纳光电 伺服电机编码器码盘 高精度 耐用 耐高温玻璃码盘
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