手自动探针台/12英寸探针台/高低温探针台/真空探针台/SemiProbe

品牌：SemiProbe

型号：PS4L M-x

描述：SemiProbe PS4L手动探针台是模块化结构设计明显操作灵活的手动探针台。它采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金费用。PS4L 系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座，平台,卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的，这使得 PS4L系列探针台以极低的价格便可满足多种应用需求，为客户提供了完美的解决方案。

更重要的是，PS4L的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12”，增加密闭测试仓，增加高低温等，以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最经济的费用完成有效的测试。

产品特点：

l 可灵活改变测试尺寸

l 模块化设计，可更换关键部件

l 系统可在客户现场升级

l 可升级为半自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12” 

l 结构简洁，方便操作

应用范围：

l 光伏工业

l 材料科学

l 光电行业

l 失效分析

l 通信器件测试

l 微机电技术

l 半导体

技术参数（型号：PS4L M-12）：

产品尺寸： 1200mm * 650mm * 900mm

重量：  110Kg

输入电压： 110/220V 50/60Hz,20A

真空:    23 Hg or -0.8 bar

卡盘X-Y轴轨道：     行程:＞300mm粗调，25mm微调(可定制)

    平面性:±7.5μm

    分辨率:5μm

    支架类型：快速对准（标配）、同轴/可编程（选配）

卡盘Z轴轨道：行程：＞20mm              

θ移动：可转角度：    360°粗调，>10°微调

卡盘类型：             真空或机械夹紧，圆形或方形，三轴，高频，高压/高电流，高低温等

平面性:                   5μm

压盘：                    铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔

             360度机械手放置

             机械手固定：磁性(标准)，真空(可选配真空歧管工具包)

压盘位移：             可选择固定和线性调节

 线性调节范围：      40mm粗调，200um微调

显微镜：立体变焦、变焦或复式显微镜

显微镜安装/移动：可选吊杆、立柱或桥架安装；可手动或通过程控移动

可选配件：包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。

                     手自动探针台/12英寸探针台/高低温探针台/真空探针台/SemiProbe