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AerotechQNPHD系列高动态压电纳米定位平台

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参数

纳米定位

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功能

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Aerotech QNPHD系列高动态压电纳米定位平台

关键词：高动态纳米定位平台/压电纳米平台/动态压电平台

设计特点

Aerotech的QNP _HD压电纳米定位平台在一个紧凑的高刚度封装中提供了平台和执行器的优点。QNP _HD具有直接测量，电容传感器反馈选件，高谐振频率和高负载能力，是各种高速和高精度应用的理想选择，例如扫描探针显微镜，磁盘驱动器测试或半导体晶圆连接。

精确的快速响应

QNP _HD采用直接驱动的致动设计和优化的结构，可实现毫秒级的响应和移动和稳定时间。

通过使用有限元分析进行优化以确保高刚度和较长设备寿命的精密挠曲，QNP _HD提供了高动力学性能，同时为关键的纳米定位应用提供了出色的几何性能（直线度和角度误差）。

高分辨率和定位精度

QNP _HD使用独特的电容式传感器设计提供闭环反馈（-C）选项，该设计允许亚纳米分辨率和一位数纳米线性误差。电容式传感器直接测量定位滑架的输出，从而实现出色的精度和可重复性。

安装灵活性

QNP _HD可提供后部和侧面电缆出口选件，以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性使用户无需设计会增加尺寸和设计复杂性的各种转接板和支架，即可将载物台定向和包装为布置。

可选的安装板可直接安装到英制或米制光学面包板桌。可根据要求提供定制设计和真空制备版本。

产品参数：

Model		QNP_HD30L-10	QNP_HD30L-25	QNP_HD30L-40
Closed-Loop Travel		10 µm	25 µm	40 µm
Open-Loop Travel, -30 to +150 V⁽¹⁾		12 µm	32 µm	50 µm
Resolution⁽²⁾	Closed-Loop	0.05 nm	0.10 nm	0.10 nm
Resolution⁽²⁾	Open-Loop	0.02 nm	0.03 nm	0.05 nm
Linearity^(3,4)		0.02%	0.02%	0.02%
Bidirectional Repeatability⁽⁵⁾		1 nm	1 nm	2 nm
Pitch/Yaw		5 µrad (1.0 arc sec)	5 µrad (1.0 arc sec)	7.5 µrad (1.5 arc sec)
Stiffness (in direction of motion)⁽⁶⁾		60 N/µm	31 N/µm	29 N/µm
Unloaded Resonant Frequency⁽⁶⁾		7000 Hz	4100 Hz	3500 Hz
Resonant Frequency (200 g load)⁽⁶⁾		2500 Hz	1900 Hz	1700 Hz
Max Payload⁽⁷⁾	Horizontal	2 kg	2 kg	2 kg
Max Payload⁽⁷⁾	Vertical	7 kg	10 kg	10 kg
Maximum Acceleration (Unloaded)⁽⁸⁾		2250 m/s²	1250 m/s²	750 m/s²
Moving Mass (Unloaded)		39 g	54 g	77 g
Stage Mass		0.11 kg	0.15 kg	0.20 kg
Material		Stainless Steel
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 Hours