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              产品介绍：                                                                

               抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量

               的 重要辅料。

                                   作用

               ①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;
               ②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出，达到

                去除效果;
               ③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;
               ④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌;