微小领域(微米等级)、纳米薄膜、Sic(单晶体、多晶体)、AIN等的测量。
热物性显微镜TM3B的优势:
1.热物性显微镜是测量热物性值中热渗透率的一种设备;
2.可以通过点、线、面测量样品的热物性;
3.测量微米等级的热物性值的分布;
4.全球首个非接触方式且高分辨率的热物性测量设备;
5.检测光点径3μm、高分辨率来测量微小领域的热物性(点、线、面 测量);
6.可改变深度范围进行测量,从薄膜、多层膜到散装材料都可测量;
7.基板上的样品也可测量;
8.激光非接触式测量;
9.可检测薄膜下的裂纹、孔隙、脱落等问题。
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