金属溅射靶材

中诺新材定制加工不同尺寸，不同纯度的靶材，产品具备纯度高。结构致密，晶粒度小的特点，满足客户对高品质靶材的需求。

高纯金属靶材，纯度99.9-99.9999%。可提供圆靶，矩形靶，管靶等。

常规金属靶材Al，Cu，Ti，Ni，Co，V，W，Mo，Ta，Ni

金属靶材Ag Au Pt Pd Ru Rh Ir

稀土金属靶材La Ce Pr Nd Sm Eu Gd Tb Dy Ho Er Tm Yb Lu

非金属靶材B C Si Ge Se Te

合金靶材Ni-Cr Ni-V Ni-Ti W-Ti Ti-Al Cr-Al NiCrAlY……

以上产品纯度99.9-99.9999%。可提供圆靶，矩形靶，管靶等。

粉末冶金说明

中诺新材（北京）科技有限公司有专业的冷压烧结设备，热压烧结设备，热等静压设备。采用粉末冶金工艺，经过热处理，机械处理及精密的机加工工艺，专业定制不同配比、不同尺寸的难熔金属材料及脆性材料的合金靶材。背靶绑定服务鉴于陶瓷靶材导热性能不好、易裂的特点，我们建议陶瓷靶材绑定铜背靶。采用该工艺制备的靶材能够保证准确的合金配比，组织均匀，致密度高。

部分定制产品如下：钛铝合金 铬铝合金 铁锰合金 铱锰合金 钴铁硼合金 钨钛合金 铜铟硒

中诺新材可提供的常规陶瓷靶材如下：

氧化铝靶 Al2O3 99.99%

氧化铪靶 HfO2 99.99%

氧化镁靶 MgO 99.99%

氧化硅靶 SiO2 99.999%

氧化钽靶 Ta2O5 99.99%

氧化钛靶 TiO2 99.99%

氧化锌靶 ZnO 99.99%

氟化镁靶 MgF 99.99%

硫化锌靶 ZnS 99.99%

氮化钛靶 TiN 99.9%

氮化铝靶 AlN 99.9%

氮化硼靶 BN 99.9%

碳化硅靶 SiC 99.9%

常备现货的靶材尺寸：

φ50.8mm  φ60mm

φ80mm,

φ100mm φ101.6mm

其它尺寸圆靶、方靶可定制

陶瓷靶材质脆，受热不均易碎，推荐绑定铜背靶，以增强靶材导热性能，提供靶材利用率