金属溅射靶材

中诺新材定制加工不同尺寸，不同纯度的靶材，产品具备纯度高。结构致密，晶粒度小的特点，满足客户对高品质靶材的需求。

高纯金属靶材，纯度99.9-99.9999%。可提供圆靶，矩形靶，管靶等。

常规金属靶材Al，Cu，Ti，Ni，Co，V，W，Mo，Ta，Ni

金属靶材Ag Au Pt Pd Ru Rh Ir

稀土金属靶材La Ce Pr Nd Sm Eu Gd Tb Dy Ho Er Tm Yb Lu

非金属靶材B C Si Ge Se Te

合金靶材Ni-Cr Ni-V Ni-Ti W-Ti Ti-Al Cr-Al NiCrAlY……

以上产品纯度99.9-99.9999%。可提供圆靶，矩形靶，管靶等。

中诺新材可提供的常规陶瓷靶材如下：

氧化铝靶 Al2O3 99.99%

氧化铪靶 HfO2 99.99%

氧化镁靶 MgO 99.99%

氧化硅靶 SiO2 99.999%

氧化钽靶 Ta2O5 99.99%

氧化钛靶 TiO2 99.99%

氧化锌靶 ZnO 99.99%

氟化镁靶 MgF 99.99%

硫化锌靶 ZnS 99.99%

氮化钛靶 TiN 99.9%

氮化铝靶 AlN 99.9%

氮化硼靶 BN 99.9%

碳化硅靶 SiC 99.9%

常备现货的靶材尺寸：

φ50.8mm  φ60mm

φ80mm,

φ100mm φ101.6mm

其它尺寸圆靶、方靶可定制

陶瓷靶材质脆，受热不均易碎，推荐绑定铜背靶，以增强靶材导热性能，提供靶材利用率

靶材绑定服务1

绑定服务Bonding

为了避免脆性金属、合金、氧化物等易裂材料在使用过程中裂靶，中诺新材可为客户提供绑定（Bonding）服务，把靶材绑定在铜背板上，除了具有保护靶材免于运送或者拿取中的意外开裂，也可确保靶材的冷却及电接触良好，并可改善靶材使用时机械强度不足的问题或解决大尺寸面积靶材受限的问题。高纯金属材料是指化学纯度高、杂质含量少、与常规金属相比具有优异的物理化学性能的新材料，被认为是现代高新技术发展的基础，是衡量一个国家或地区高新技术发展水平的重要指标。一般靶材绑定用的背板为金属铜， 金属钛，金属钼和不锈钢，背板是在溅射时支撑靶材，以防靶材在溅射中出现开裂等问题，提高靶材的使用率和使用寿命