二、主要技术指标：（标★为重要参数）

1、测量原理：X射线荧光光谱法测量镀层厚度

2、测量方式：无损检测，可自动聚焦

3、元素测量范围: Cl（17）--U（92），最多可测量24种元素23层镀层。

★4、手动X/Y平台,移动范围≥95x150mm,可用工作台面≥420x450mm

5、电动Z轴，手动/自动聚焦，可移动范围≥140mm

★6、采用DCM（测量距离补偿法）可远距离对焦测量腔体样品，可达80mm深度

★7、满足可变高压30KV,40KV,50KV三种可调节，以满足不同的测试需求。

★8、准直器：φ0.3的圆形准直器

9、X射线探测器：比例接收器

10、统计计算：数据组带时间和时期功能，统计功能包含平均值、标准偏差、最大值、最小值等；还可输入公差范围，计算CP和Cpk值，超范围值时仪器应有自动报警提示功能

11、windows7以上中文操作界面，WinFTM专业测试软件，具备连接PC和打印机的USB借口

★12、测量误差：镀层厚度≥0.5um时，顶层镀层测量精度≤5%

★13、采用完全基本参数法，内置12纯元素频谱库，可实现无标准片校准情况下测量

★14 MQ值显示，用于判定测量程式是否与样品匹配，避免误操作

★15、标准片：配备12种基准纯元素（Ag,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr）。

16、具备高分辨率CCD摄像头，放大倍数40-160倍。

★17、仪器应具有环保部门出具的辐射豁免管理函

18、计算机控制系统：I5处理器，8G内存，500G硬盘，19寸液晶显示器，彩色喷墨打印机。

19、工作环境条件：操作温度范围：10℃~40℃；相对湿度：20%～80%；