仪器 型号                            VMS-2515E           VMS-3020E                  VMS4030E   
        金属台尺寸（mm）              450X280                 500X330                    606X466   
工     玻璃台尺寸（mm）              306X196                 350X250                    450X350
作     运动行程（mm）                  220X120                 270X170                   370X270 
台     Z轴升降行程(mm)                 150（调焦）           150（调焦）              150（调焦）
        X、Y、Z轴数显分辨率           0.5（μm）               0.5（μm）                 0.5（μm）
       X、Y坐标示值误差（μm）                    ≤(3+L/150)μm（L为被测长度,单位mm）

              仪器重量(kg)                 146                     168                     266
              外形尺寸(mm)           760X600X900                                970X670X940

               三轴运动速度         100mm/s
电  机
               三轴定位精度          0.001mm 

                   摄影机：           SONY彩色1/2 " CCD摄影机
                   双焦镜头：       美国NAVITAR双焦镜头/带同轴光变双镜头（二选一）
影像系统      双焦镜头倍率：0.7~4.5X
                   视频总倍率 ：    23.5~148X 
                    物方视场 ：       11.7~1.7mm

   电  源        AC220V/AC110V
    消耗功率    100W（不包含电脑）

仪器配件        1X镜筒（选配）               0.5X镜筒（选配）                工作距离
(mm）

双焦镜              0.7X~4.5X                      0.7X~4.5X           

附加镜                   视频倍率          物镜视场（mm）             视频倍率          物镜视场（mm） 

0.5X（选）          11.8X~74X          22~3.4         5.9X~37X          44~6.8            175
 标 配                   23.5X~148          11.1~1.7     11.8X~74X        22~3.4             92
2X（选）              47X~296X           5.5~0.9       23.5X~148X      11.1~1.7          36